北京中惠普分析技术研究所成立于1994年，是目前国内专业的气相色谱仪器配套气源发生器的仪器制造企业。本文北京中惠普分析技术研究所介绍一种准分子激光气体净化器
GP系列气体净化器可解决由准分子激光混合气体中杂质聚集造成的性能问题,它价格便宜,操作简单。在减弱杂质聚集方面它有最高规格的安全性和可靠性。GP系列可连续高效运转,保证准分子激光工具内的低温气体处理系统保持最佳运转性能。在F2或HCl组分的混合气体中,杂质和紫外吸收分子在激光器内聚集,很容易破坏激光器性能。净化器能对付各种问题,包括过于频繁的维修检查,昂贵的稀有气体成本增加,脉冲能量降低,光束质量变差,不稳定的计时起伏和光谱纯度下降。GP系列包括GP1000, GP2000和GP3000三款气体净化器,它们都有低温冷凝器,其中包括调节自身温度用的气体环流器。冷凝器能有效冻结不想要的杂质,包括在操作过程中聚集的和充入原始气体时带入的。
GP1000适用于短波长氟化氩和F2激光器。GP2000X为研究发展应用使用的各种准分子激光器设计,有低温纯化和操作灵活的优点。对于其他应用,如无法使用液氮的净化室或工业环境中, GP3000用其内装的闭合循环冷却器作冷却装置,保证长时间的准分子气体净化过程中无需手工操作。
